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    CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

    名称:CGO高低温真空探针台
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    CGO系列高低温真空

    探针台

     

    高低温真空探针台.png

     产品介绍

    高低温真空探针台.png

     1.1 功能介绍

     

    CGO系列高低温真空探针台可满足6 英寸样品测试,高真空结构可避免低温结霜、高温氧化等情况,保证测试准确性。可用于晶圆测试、 LED 测试、功率器件测试、光电测试、场晶体效应管测试等不同产品和应用场景,亦可升级做射频测试。

     

    1.2 技术参数

     

    型号

    基本参数

    CGO-2CGO-4CGO-6
    腔体样品台尺寸

    2英寸

    4英寸

    6英寸

    样品固定

    弹簧压片

    观察窗口

    2英寸

    4英寸

    6英寸

    真空度

    10-5torr

    探针臂接口

    最多4个探针臂接口

    最多6个探针臂接口

    其他接口

    电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口

    温控系统

    制冷方式

    液氮/液氣/制冷机

    温度范围

    77K  573K/4.5K  573K

    温控精度

    0.1K/0.01K/0.001K

    稳定性

    ±1K/±0.1K/±0.01K

    显微镜

    显微镜类型

    单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜

    放大倍率

    16X-200X/20X-4000X

    移动行程

    水平360度旋转,Z轴行程50.8mm

    光源

    外置LED环形光源/同轴光源

    CCD

    200万像素/500万像素/1200万像素

    探针臂

    X-Y-Z移动行程

    50mm*50mm*50mm

    结构

    外置探针臂,真空波纹管结构

    移动精度

    10微米/I微米

    探针夹具

    线缆

    同轴线/三轴线/射频线

    漏电精度

    10pA/100fA/10fA

    固定探针

    弹簧固定/管状固定

    接头类型

    BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子

    探针

    频率支持

    DC-110GHz

    针尖直径

    0.2微米/I微米/2微米/5微米/10微米/20微米

    材质

    钨钢/铍铜

    真空组件

    分子泵组/机械泵/离子泵

    冷源组件

    50L/100L液氮罐/液氮罐/制冷机

    外形

    880mm *880mm *600mm 

    980mm *980mm *600mm 

    重量

    100千克

    120千克

    可选附件

    超高温配件

    屏蔽箱

    高压测试配件

    显示器

    光学平台

    分子泵组

    转接头

    镀金卡盘

    激光系统

    射频测试配件

    光电测试配件

    气敏测试配件

    根据客户要求定制



    应用案例:


    北京师范大学CGO探针台.png华为OCG高低温探针台.png南科大CGO高低温真空探针台.png
    中国石油大学CGO高低温真空探针台.png西南交通大学OCG高低温真空探针台.png南方科技大学OCG高低温真空探针台.png
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